真空機器修理・オーバーホール

ドライポンプ・クライオポンプ修理・オーバーホール

真空環境を支えるポンプ類の修理・オーバーホールを行い、装置の安定稼働と長寿命化をサポートします。

ドライポンプの対応機種

  • エドワーズ QDP-40 / QDP-80
  • EBARA Aシリーズ / AAシリーズ
  • KASHIYAMA PUMP

クライオポンプの対応機種

  • OB-6F / OB-8F
  • CT-8 / CT8F / CT-10 / CT-0250F / ULVAC製CRYO各種
  • クライオコンプレッサ9600等
  • クライオトラップRSシリーズ

お問い合わせ

パーツ洗浄・修理、メンテナンスサービスのお問合せ
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営業時間｜午前9:00-午後6:00 定休日｜土曜・日曜・祝日

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