【修理実績】 （部品入手が困難な場合や、故障個所によっては、対応不可の場合がございます）
| 品名 | 型式 | 特記事項 |
|---|---|---|
| TC-2000 | ||
| ＨＴＣ | ||
| PR2-100N | ||
| 24V電源 | P600-24 | |
| A8S用 | ポンプ操作盤 | |
| AMAT製15V電源 | － | |
| ASSY.HSG.CAP DIV/PEAK DET(VCIユニット） | 853-3708871-002 | |
| AUTO TUNEボード(TOPマッチングボード) | 810-015987-101 | |
| BOT DIPボード | 810-017003-005 | 実機確認サービス有 |
| CRT | A902M | |
| CRT | SD5904C | |
| DC電源 | EWS600-4E8 | |
| DC電源 | P600E-24 | |
| DC電源 | FIN01950-001 | |
| DC電源 | PS2383A | |
| DC電源 | SPM502A606K | |
| DC電源 | M63-7CCDDEEF-1F | |
| DC電源 -15V | 0010-20000 | |
| DC電源 24V | 0010-20211 | |
| DC電源 24V | 0010-75216 | |
| DTCUユニット | DTCUユニット | |
| E/S バイアス電源 | EB9701 | |
| ESC電源 | 810-017086-018 | |
| HVコントローラ | 560-6590 | |
| LAPM | PK55GB80 | |
| LCユニット | LCユニット | |
| MUXボード | 810-492571-002 | |
| PC | ANO7011-25F | |
| PC | FC98-NX | |
| Proface タッチパネル | CGP370 | |
| RF電源 | SA-1 | |
| RF電源 | ST-1 | |
| RF電源 | MA-1CY | |
| RF電源 | VMA-1 | |
| RF電源 | OEM-25B | |
| RF電源 | OEM-2000 | |
| RF電源 | OEM-12B | |
| RF電源 | RF10S | |
| RF電源 | LF10A | |
| RF電源 | AX-600 | |
| RF電源 | AX-1000Ⅱ | |
| RF電源 | MFG-20SA3 | |
| RF電源 | LP-2000-800M | |
| RF電源 | LP-200-400KB | |
| RF電源 | LP-150-400KB | |
| RF電源 | RFK20Z | |
| RF電源 | WGA-20A | |
| RF電源 | NGA-30C | |
| RF電源 | RF5S | |
| RF電源 | RF20R | |
| RF電源 | GMW-25 | |
| RF電源 | GHW-25 | |
| RF電源 | VMA-1 | |
| RF電源 | LF10A | |
| RF電源 | LF5 | |
| RF電源 | DRFS-10SB26 | |
| RF電源 | RP-300-2M | |
| RF電源 | RP-3000-27M | |
| RF電源 | CLF5000 | |
| RF電源 | CPS100S | |
| RF電源 | CX600S | |
| SERIAL ISOLATOR | 0100-35065 | |
| SMCチラーコントロールユニット | - | |
| TMPコントローラ | TURBOTRONIC NT150/360 | |
| TMPコントローラ | PTI-300 | |
| UVランプ電源 | MB-402/IM9A-AA03 | |
| VCEボード | VCEボード | |
| アナログコントローラ | Y101S 10V-10V | |
| イオンゲージコントローラ | 332102 | |
| インバータ | FRN3.7G9S-2 | |
| インバータ | インバータ | FRN3.7G9S-2 |
| インバータ | インバータ | FRN5.5G9S-2 |
| エバラ用モータドライバ | DMD30 | |
| オゾンジェネレータ | オゾンジェネレータ | |
| カソード電源 | EMS600-1.6-DGB7 | |
| クライオポンプヒータ | SAMICON SUPER340 | |
| クライオ用 3PHモータコントローラ | ON-BOAD 3PH MTR CONTROL | インバータ国産化改造等・部品のKIT販売も賜ります |
| コンデンサーボード | 5A530418-01 | |
| サーボドライバ | PUOBO15EMW1PP | |
| タッチパネル | ET1527L | |
| チラー用 SYSTEM-3基板 | チラー用 SYSTEM-3基板 | |
| ドライバ | ADKB400BPFADA | |
| ドライバ | UDDF50B5BW | |
| ドライバ | UDDF50B2BV | |
| ドライバ | ESLZ10CF1 | |
| ドライバ | ESB014CF1 | |
| ドライバ | ESA-LZ10DF2 | |
| ドライバ | MSD021A1X | 動作確認ツール有 |
| ドライバ | MSD021P1EA | 動作確認ツール有 |
| ドライバ | AXL Driver | 87-008145-03C |
| ドライバ | INDEXER Driver | 87-014873-01E |
| ドライバ | 2Phase Driver | AK-X120 |
| ドライバ | Stepping Driver | ASD24A-AD |
| ドライバ | Driver | BH5-3691 |
| ドライバ | Driver | BH5-3730 |
| ドライバ | 5PHASE DRIVER | CSD5807N-P |
| ドライバ | 5Phase Driver | D207F-A1-1 |
| ドライバ | 2Phase Driver | D-240 |
| ドライバ | 5Phase Driver | DFU1514W-A2 |
| ドライバ | AC Servo Driver | DV-461T |
| ドライバ | AC Servo Driver | DV468TB |
| ドライバ | AC Servo Driver | DV468TC |
| ドライバ | AC Servo Driver | DV85018HA501 |
| ドライバ | AC Servo Driver | DV85018HA502 |
| ドライバ | 5Phase Driver | EKS4017 |
| ドライバ | STAK PAK | IST4-1404-W01 |
| ドライバ | SERVO PACK | JUSP-NS300（SGDH-04AE） |
| ドライバ | LINEAR SERVO DRIVER | LD0560 |
| ドライバ | AC Servo Driver | MQDB011AAD01 |
| ドライバ | AC Servo Driver | MR-J2S-10A |
| ドライバ | AC Servo Driver | MR-J2S-10A1 |
| ドライバ | AC Servo Driver | MR-J2S-20A |
| ドライバ | AC Servo Driver | MR-J2S-40A |
| ドライバ | AC Servo Driver | MR-J2S-10B |
| ドライバ | AC Servo Driver | MR-J2S-20B |
| ドライバ | AC Servo Driver | MSD011A1X |
| ドライバ | AC Servo Driver | MSD011A1XX11 |
| ドライバ | AC Servo Driver | MSD011A1XX18 |
| ドライバ | AC Servo Driver | MSD021A1X |
| ドライバ | AC Servo Driver | MSD021A1XX10 |
| ドライバ | AC Servo Driver | MSD021A1XX17 |
| ドライバ | AC Servo Driver | MSD043A1XX |
| ドライバ | AC Servo Driver | MSD5A1A1X |
| ドライバ | AC Servo Driver | MSD5A1A1XX |
| ドライバ | AC Servo Driver | MSD5A1A1XX21 |
| ドライバ | AC Servo Driver | MSD5A1P1EA |
| ドライバ | SERVO PACK | SGDS-01A31AY566 |
| ドライバ | 2Phase Driver | UD2115A |
| ドライバ | 5Phase Driver | UDX5103 |
| ドライバ | 5Phase Driver | UDX5107 |
| ドライバ | 5Phase Driver | UDX5107N |
| ドライバ | 5Phase Driver | UDX5114 |
| バルブ | VAT12ゲートバルブ | 12036-PA14-0002/0103 |
| ピラニーユニット | STYLE-GP-1000 | |
| フィラメント電源 | 92-144-27002 | |
| フィラメント電源 | EMS-10-60-2 | |
| フィラメント電源 | ESM 7.5-300 | |
| ボード | 15S0548 | |
| ポンプコントローラ | QDP80 | |
| マイクロ波電源 | AX2115 | |
| マッチャー | SRN1-2 | |
| マッチャー | AMU10E-2 | |
| マッチャー | MFM-20SA2 | |
| マッチャー | DAUMA-10N2H | |
| マッチャー | AM-1000 ASM | |
| モータ | MSM021P1E | 動作確認ツール有 |
| モータ | DC Motor | M102M387 |
| モータ | BALDOR Motor | M3116 |
| モータ | 遊輪 | MCMI-11-1 |
| モータ | 動輪 | MCMI-16-1 |
| モータ | AC Servo Motor | MFA018HA5NSD |
| モータ | AC Servo Motor | MFA030HA2NSK |
| モータ | AC Servo Motor | MFA030HA2NSL |
| モータ | AC Motor | MK106-4DK.07.U |
| モータ | AC Motor | MK106-4DK.10.U |
| モータ | AC Servo Motor | MSM021A2NE |
| モータ | AC Servo Motor | MSMA021ABF |
| モータ | AC Servo Motor | MSM021A3E |
| モータ | AC Servo Motor | P50B04010DCL96 |
| モータ | 2Phase Motor | PH264-01 |
| モータ | 2Phase Motor | PH264-01GK |
| モータ | 5Phase Motor | PK596AEM |
| モータ | Synchronous Motor | S43H |
| モータ | プラテンモーター | SJMS-50A6AB |
| モータ | Synchronous Motor | SMK216A-GN-C9 |
| モータ | 5Phase Motor | UPH566G-A |
| モータ | 動輪 | WMR-158-420 |
| モータ | 新明和BUILT-IN DDモーター | B05-13-7 |
| モータ | STOBERギアードモーター | PF-116 |
| モータ | AC Servo Motor | HF-KP23G1 |
| モータ | 5Phase Motor | C7602-90215HG |
| モータ | AC Servo Motor | HC-KFS43K |
| モータ | AC Servo Motor | HC-KFS23B |
| モータ | MKSモーター | 001-1575 |
| モータ | XR用ポンプモーター | DA90LA-C |
| モータ | AC Servo Motor | F55184KCT10 |
| モータ | AC Servo Motor | FS2164TCT10 |
| モータ | AC Servo Motor | HA-SA502 |
| モータ | AC Servo Motor | HA-SA202 |
| モータ | AC Servo Motor | JS2014DN511 |
| モータ | DC Servo Motor | RS-11-50-(003)-SP |
| モータ | DC Servo Motor | RSS-17-100-(005)-SP |
| モータ | DC Servo Motor | RSS-25-50-(04B)-SP |
| モータ | DC Servo Motor | KXPM5120GD-CB(5GD100RA) |
| モータ | AC Servo Motor | USAHEM-02-TE31 |
| モータ | AC Servo Motor | TS3510N38E13 |
| モータ | AC Servo Motor | 62BM006DXEAS |
| モータ | AC Servo Motor | USAHEM-03DS52 |
| モータ | AC Servo Motor | TS3510N39E10 |
| モータ | AC Servo Motor | TS3510N34E13 |
| モータ | AC Servo Motor | MSM042A5F |
| モータ | AC Servo Motor | MSM021A2NE |
| モータ | AC Servo Motor | MSM021A3NX |
| モータ | AC Servo Motor | MSM011P1A |
| モータ | AC Servo Motor | USAHEM-02-TE53 |
| モータ | AC Servo Motor | HA-LH202G |
| モータ | AC Servo Motor | USAHEM-02TE16 |
| モータ | AC Servo Motor | MSM4ACA2AX |
| モータ | AC Servo Motor | MSMA011C1F |
| モータ | AC Servo Motor | HA-FH55-UE-S1 |
| モータ | AC Servo Motor | KBLM5120-AM |
| モータ | AC Servo Motor | MSM3AZA1N |
| モータ | AC Servo Motor | HA-FE13BD |
| モータ | FFU | C0094-0948-01 |
| モータ | GEARED MOTOR | RB-35GM-SS001U2-24 |
| モータ | GEARED MOTOR | RB-35GM-SS06U2-12 |
| モータードライバ | UDX5107Ｎ | 動作確認ツール有 |
| モータードライバ | UDX5114 | 動作確認ツール有 |
| モータードライバ | PMM-BA-5603-01 | |
| モータードライバ | UDK5128 | 動作確認ツール有 |
| ラダー | P-120M | |
| ロボット | シャッターユニット | BG3-5450 |
| 品名 | メーカー | 特記事項 |
| 四極電源 | SL20P&N300X2470 | |
| 基板 | SCREEN基板 | ZEBE-0011 |
| 基板 | ALSPW基板 | ALSPW |
| 基板 | 基板 | AAMPW12 |
| 液晶モニター | AS4612UT | |
| 液晶モニター | LCD-A155GW | |
| 液晶モニター | LMU-TK15AG7J | |
| 置換え | 有機剥離装置インデクサユニット | X軸・Y軸（Steppingシステム） |
| 置換え | スクラバ M/Aユニット | Y軸・Z軸（AC Servoシステム） |
| 置換え | スクラバ C/Sユニット | Y軸・Z軸（AC Servoシステム） |
| 置換え | Mark 8 M/Aユニット | Y軸・Z軸（AC Servoシステム） |
| 置換え | Mark 8 C/Sユニット | Y軸・Z軸（AC Servoシステム） |
| 電源 | HV-PS4B | |
| 電源 | KDS-30350 | |
| 電源 | MDX-L12 | |
| 電源 | DC Power Supply | FYX600/63G-BGEe |
| 電源 | DC Power Supply | E19321290 |
| 電源 | DC Power Supply | FSP300-60PLN |
| 電源 | AGVマルチ電源ユニット | MCEZ-17-1 |
| 電源 | SDRV-U | SDP-D-1 |
| 電源 | DDRV-U | SDP-E-1 |
| 電源 | E220 電源 | XTI8-15 |
| 電源 | DC Power Supply | XF2335-N |
| 電源 | Power supply | SU40P32L |
| 電源ユニット | SBC17 USHIO |