製造装置のメンテナンス

装置を最良の状態に維持するため、正確でスピーディーなメンテナンス作業を提供し、
予防保全や改良改善の提案も行います。

エッチング･CVD装置のメンテナンス

【内容】

• 定期洗浄
• 定期点検
• チャンバ部品の事前組付け
• チェック

イオン注入装置のメンテナンス

【内容】

• 定期点検
• イオンソースのメンテナンスと装置への交換実装
• イオンソース部品の洗浄