DRY洗浄

半導体製造装置部品の
DRY洗浄・内製化導入支援

石英・セラミック・金属・樹脂等、製造装置の精密部品に付着したDEPOを最新のDRY洗浄技術で除去し、装置性能を最大化します。
また、本DRY洗浄はお客様の工場内で洗浄を可能とするため、内製化導入支援により、コスト削減、短納期を両立します。

対応部品について

【対応部品の一例】
  • 石英パーツ
  • セラミックパーツ
  • 金属パーツ
  • 樹脂パーツ

DRY洗浄の効果

パーティクル低減/石英パーツの長寿命化/洗浄費用の削減

内製化支援サービス

洗浄装置をお客様の工場へ導入し、洗浄ラインを構築し、その運営を支援を行います。
【内製化支援内容】
  • 洗浄ラインの構築
  • 立ち上げ
  • 洗浄レシピ作成 / 最適化
  • 作業者教育、安全指導
  • 運用マニュアル作成と教育

『内製化成功』のカギは、お客様とのパートナーシップです。
DRY洗浄技術は、お客様と共に進化を続けてまいります。

お問い合わせ

042-683-3520
営業時間|午前9:00-午後6:00 定休日|土曜・日曜・祝日