DRY洗浄
半導体製造装置部品の
DRY洗浄・内製化導入支援
石英・セラミック・金属・樹脂等、製造装置の精密部品に付着したDEPOを最新のDRY洗浄技術で除去し、装置性能を最大化します。
また、本DRY洗浄はお客様の工場内で洗浄を可能とするため、内製化導入支援により、コスト削減、短納期を両立します。
対応部品について
【対応部品の一例】
- 石英パーツ
- セラミックパーツ
- 金属パーツ
- 樹脂パーツ
DRY洗浄の効果
パーティクル低減/石英パーツの長寿命化/洗浄費用の削減
内製化支援サービス
洗浄装置をお客様の工場へ導入し、洗浄ラインを構築し、その運営を支援を行います。
【内製化支援内容】
【内製化支援内容】
- 洗浄ラインの構築
- 立ち上げ
- 洗浄レシピ作成 / 最適化
- 作業者教育、安全指導
- 運用マニュアル作成と教育
『内製化成功』のカギは、お客様とのパートナーシップです。
DRY洗浄技術は、お客様と共に進化を続けてまいります。


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