DRY洗浄

薬液を一切使用しない洗浄方法のため、治具類の母材に対してのダメージを抑える事ができます。DRY洗浄を導入することで、洗浄薬液のコストを削減すると共に、治具のダメージを抑える事により治具長寿命化・予備数削減効果も期待出来ます。

■石英の表面遷移（WET洗浄を繰り返すことで母材が劣化していきます。）

■石英表面の状態（フッ酸を使って１５回洗浄した後の表面状態）

■石英表面の状態（DRY洗浄を１５回繰り返した後の表面状態）

■セラミック表面の状態

DRY洗浄の例

■セラミックパーツ	■石英パーツ
■シリコンパーツ

DRY洗浄内製化のご案内

 

■DRY洗浄の効果

DRY洗浄内製化により、洗浄費の大幅なコストダウンに貢献します。
母材にダメージを与えない超クリーンでダメージレスな洗浄により、洗浄費以外の歩留まり
UPや冶具長寿命化・予備数削減効果も期待出来ます。

■お客様の工場へＤＲＹ洗浄工場を立ち上げます。

弊社との包括的な契約を締結する事により、弊社のもつDRY洗浄に関するノウハウを始め、
洗浄装置、洗浄レシピ、洗浄方法、洗浄設備操作教育など、超クリーンな洗浄技術を一括で
ご提供致します。

■お客様とのパートナーシップを構築します。

「内製化成功」の鍵は、お客様とのパートナーシップです。
　DRY洗浄技術は、お客様と共に進化を続けていきます。

チラー新規製作、メンテナンスサービス

チラーの新規製作/オーバーホール/部品販売

■新規設計・製作（リニューアル含）

・製作可能温度帯：－６５℃ ～２００℃
・温度安定度：±０．５℃以内
・循環液：純水及び各種指定ブライン
・循環ポンプ：マグネットポンプ
・フロン対策
・既存チラーとのインターフェイス開発

■オーバーホール・修理

NESLAB他, 様々なチラーのオーバーホール・修理に対応
・A社製装置の付帯チラー
・T社製装置の付帯チラー
・U社製装置の付帯チラー
・その他のチラー各種

NESLAB シリーズの修理・オーバーホール・改善

■流量低下、温度異常、異音などの修理
■オーバーホール
■MTBF向上などの改善

　　

　　

修理・オーバーホール対応

＜メーカー＞ ・伸和コントロールズ ・SMC ・リッシー ・タイテック ・大同工業

＜機種＞ CH1-L1-D0,CH1-H1-D0,CH1-CP-D0,CH1-CP-D5 INR-341-42B,INR-341-60,INR-498-012D EXシリーズ, CS-1100, CS-1500 EH-1500BW DR-203,DRS-7GN

電源修理サービス

各種電源ユニット・プリント基板・ロボット修理サービス-1

■プリント基板修理

汎用部品を使用したものは、殆どが修理可能です。
オーダーメイドのASIC、プロテクトのかかったプログラマブルIC、ハイブリッドICなどが搭載されたものでも、それが故障していない場合は修理が可能です。
また、同じものが2枚ある場合には、1枚が修理可能になる場合があります。

 

 

■モータードライバ修理

使用モーターを一緒に提供して戴けますと、確認が行えて確実な修理が出来ます。
UDX5107,UDX5114,UDK5128 各種

■DC電源・RF電源修理

DC電源・RF電源の場合、電子負荷装置またはダミーロードにて出力確認を行います。
SA-1,MA-1CY,VMA-1,OEM-25B,OEM-2000,OEM-12B,RF10S
LF10A,AX-1000Ⅱ,MFG-20SA3,LP-200-400KB,LP-150-800KB 各種

 

 

■各種コントローラー・モニタ修理

様々なコントローラー・液晶パネル等の修理もご相談下さい。
入出力のコネクタに関する情報があれば、更に確実な修理が可能です。

各種電源ユニット・プリント基板・ロボット修理サービス-2

■基板総合修復

「電子回路基板の修理」
IC、コンデンサー、抵抗、トランジスタ等、部品の交換

「電子回路基板が老朽化で信頼性が無い」
フロンによる超音波洗浄を実施すると信頼性が飛躍的に改善

「電子基板の接触不良」
基板のコネクター部分、マザーコネクターピン部分の20ミクロン前後の硬質金メッキを施し、接触不良を改善

「基板内パターンの欠損」
銅の微粒子にて欠損部分を修復

「電子回路基板の破損、焼損」
破損。焼損部分を部分的に切り取り、エポキシガラスをコーティングし、乾燥、整形、回路パターンを形成します。

各種電源ユニット・プリント基板・ロボット修理サービス-3

■ロボット修理

・ASYST(MECS)製ロボット：UTCシリーズ・UTXシリーズ・UTWシリーズ
・BROOKS製ロボット：ATMシリーズ・REシリーズ
・アライナー各種
・ウェハ移し替え機各種
・TAZMOクリーン搬送装置

※主に200mmWafer用以下のロボットとなります。詳細はお問い合わせ下さい。

■修理手順について

修理発生　⇒　修理品送付　⇒　事前見積もり　⇒　ご注文　⇒⇒　修理作業　⇒　出荷　⇒　実機動作確認

※事前見積もりは無料です。金額面でご依頼頂けない場合は、無償にて修理品を返品致します。

■修理実績一覧

真空ポンプ・クライオポンプの修理・オーバーホール

■真空ポンプ対応機種

・エドワーズQDP-40 / QDP80
・EBARA Aシリーズ/ AAシリーズ

■クライオポンプ対応機種

・CRYO OB-6Ｆ、8F
・CRYO CT-8、8F（TORR-8、TORR-8F ）
・CRYO CT-10（TORR-10）
・CRYO CT-250F
・ULVAC製クライオポンプ全機種
・クライオポンプコンプレッサ（アドソーバー交換、リーク箇所の対処）

半導体製造装置（WET洗浄装置）の製作・改造・修理

■半導体用「洗浄装置」の製作・改造・メンテナンス

・修理
処理槽の液漏れ、扉の動きが良くない、生成物の発生・・・etc
下見から修理までを一貫してお引き受け致します。

・設計・製造
お客様のニーズに合わせて、設計・製作、立ち上げまで致します。
一品一様の装置をご提供致します。

・改善、改造
ポンプやバルブの交換、配管フローの変更、処理槽のサイズ・・・etc
装置トラブルを改善する為の、お手伝いを致します。

【その他】
薬液供給装置の製作、パーツ加工（樹脂、金属の加工・製作）、プログラムソフト設計・改造、装置の無害化・解体・・・などなど

保全支援・省エネTOOL、改良改善提案

■省エネTOOL　・真空ポンプ電力削減ユニット：ECO-VAC (EBARA製AAシリーズポンプ用）

荏原製　AAシリーズ　ポンプ電力削減ユニット

・eco-VAC外観

現状のPUMPを改造せずに簡単に取付可能

1台　25,000円（税別）

 

 

 

 

 

・電力削減効果　※設定により変動します。

製造設備のメンテナンス

■ETCHING装置メンテナンスサービス

定期点検

■イオン注入装置メンテナンス

定期点検、イオンソースのメンテナンス